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フランジレスタイプになります。チャンバー壁に直接はめ込み、Oリングにて密封します。
- シャフト径: 10, 12, 15, 20, 25, 30, 40, 50, 75
- シャフト形状: 中空シャフト
- 水冷: 水冷なし
- ベアリング配置: 両持ち（真空側ベアリングあり）
- シャフトオプション: クランプなし, クランプあり
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F1Bタイプの中空シャフト仕様となります。シャフトはお客様にご準備頂くために、設計自由度があがります。ベアリング両持ち仕様です。
- シャフト径: 10, 12, 15, 20, 25, 30, 40, 50, 75
- シャフト形状: 中空シャフト
- 水冷: 水冷あり
- ベアリング配置: 両持ち（真空側ベアリングあり）
- シャフトオプション: クランプなし, クランプあり
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F1Tタイプをベースとして、真空側に磁性流体が配置されております。活性ガス仕様に適しています。
- シャフト径: 20, 25, 30, 40, 50, 75
- シャフト形状: 中空シャフト
- 水冷: 水冷あり
- ベアリング配置: 片持ち（真空側ベアリングなし）
- シャフトオプション: クランプなし, クランプあり
