アーク放電／アークイオンプレーティング装置

環境に配慮した機能性薄膜のドライコーティングに

ドライコーティングとは、主に真空中で基材の表面に金属やセラミックスの薄膜を形成する手法です。
ダイヤモンドライクカーボン（DLC）、TiN、TiCNなどの薄膜が代表的で、 切削工具や金型、自動車部品、医療器具、家電製品やその製造装置など幅広い分野に応用されています。
基材表面に耐摩耗性、低摩擦、耐腐食性、耐酸化性に優れたこれらの薄膜をコーティングすることで、製品の性能、寿命、使用範囲などを大幅に向上できるため、地球資源の有効活用や環境対策においても有望であると期待されています。

アークイオンプレーティング法

アークイオンプレーティング法は、PVD の一種であり、ターゲットをアーク放電により蒸発およびイオン化させて成膜を行う方法です。
アーク放電の特性により、緻密で密着力の良い皮膜を高速で形成できるため、量産性やプロセス安定性に優れています。 そのため、切削工具への硬質耐摩耗皮膜コーティングや、自動車部品への低摩擦係数、耐摩耗皮膜コーティング用に量産用設備が導入されています。
発塵がなくクリーンで長寿命なリガクの磁性流体シールは、アークイオンプレーティング装置でのテーブルやターゲットの回転に最適です。

アークイオンプレーティング装置に適した磁性流体シール

中空シャフトタイプの磁気シールでは、回転軸に電極や冷却機構などを通すことができます。
標準的な構造のスタンダードF1T-Bシリーズ、真空側にベアリングを配置しないカンチレバーF1T-Cシリーズをお勧めいたします。

F1B-C

F1T-C (クロスローラーベアリングを使用)

選定の際には、使用温度範囲や荷重などにご注意下さい。
特殊仕様をご希望の場合は、磁気シールお引き合いフォームからご連絡ください。