半導体

リガクの半導体計測ツールは、半導体の研究開発および製造現場の両方に対して、最も先進的かつ信頼性の高いソリューションを提供するよう設計されています。TXRF、WD-XRF、ED-XRF、XRR、HR-XRD、CD-SAXSなどの最先端技術を使用して、測定の品質と精度を保証しています。X線回折（XRD）、蛍光X線分析（XRF）、X線反射率（XRR）、およびX線トポグラフィー（XRT）計測ツールは、薄膜の厚さ、組成、粗さ、密度、空隙率、結晶構造の欠陥などの重要なプロセスパラメーターを測定します。また、汚染の測定には、プロセス全反射蛍光X線分析（TXRF）および蒸気相分解全反射蛍光X線分析（VPD-TXRF）ツールも提供しています。

リガクは、世界中で24時間365日のサービスとサポートのもと、収量向上とプロセス開発のための最先端ソリューションを提供しています。リガクを選択して、他に類を見ない計測ソリューションで競争力を維持することができます。