半導体

X線計測ソリューション:研究所から工場まで 

半導体は世界をより良く変える力を持っています。リガクは、半導体プロセスの研究開発および製造現場向けのX線計測ツールの世界的なリーディングサプライヤーとして、この実現を目指しています。

リガクは、半導体の研究開発および製造の課題を解決するX線機器の主要メーカーです。70年以上にわたって世界市場でのリーダーシップを誇り、製品ラインは、インライン・オンライン計測から薄膜材料の特性評価のための研究開発まで、あらゆる課題に対するソリューションを提供しています。

半導体

半導体製造プロセスの品質と信頼性を確保します。

リガクの半導体計測ツールは、半導体の研究開発および製造現場の両方に対して、最も先進的かつ信頼性の高いソリューションを提供するよう設計されています。TXRF、WD-XRF、ED-XRF、XRR、HR-XRD、CD-SAXSなどの最先端技術を使用して、測定の品質と精度を保証しています。X線回折(XRD)、蛍光X線分析(XRF)、X線反射率(XRR)、およびX線トポグラフィー(XRT)計測ツールは、薄膜の厚さ、組成、粗さ、密度、空隙率、結晶構造の欠陥などの重要なプロセスパラメーターを測定します。また、汚染の測定には、プロセス全反射蛍光X線分析(TXRF)および蒸気相分解全反射蛍光X線分析(VPD-TXRF)ツールも提供しています。

リガクは、世界中で24時間365日のサービスとサポートのもと、収量向上とプロセス開発のための最先端ソリューションを提供しています。リガクを選択して、他に類を見ない計測ソリューションで競争力を維持することができます。

アプリケーションノート

応用例から分析目的に合った手法をご検討いただけます。

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