塗装&コーティング

    プラスチック上のSiから半導体積層ウエハーまで

     集積回路チップ内のバリア層膜や、アルミ缶の変換コーティングなど、さまざまな場面で塗装・コーティング技術の恩恵を受けています。X線分析技術は、これらの材料の研究開発、生産プロセスの制御、品質保証に不可欠です。蛍光X線分析(XRF)は、金属コーティングの厚さと元素組成を決定するのに使用されます。半導体製造プロセスでよく使用されるX線反射率(XRR)は、コーティングの多層膜の層厚を測定し、粗さや層間拡散などのコーティング特性を評価するために使用されます。X線回折(XRD)とその関連技術は、フィルムの分子構造とその性質を調べるなど、ナノテクノロジー研究の主要な促進要因となっています。リガクの技術と経験は、塗装・コーティングの測定に対するさまざまな非破壊分析ソリューションを提供しています。

     

    コーティングおよび薄膜

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    応用例から分析目的に合った手法をご検討いただけます。

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