Was ist die Analyse von Beschichtungen und Dünnschichten?
Viele Aspekte des modernen Lebens profitieren von der Beschichtungs- oder Dünnschichttechnologie. Ob es sich um eine Barriereschicht in einem integrierten Schaltkreis-Chip oder eine Konversionsbeschichtung auf einer Aluminium-Getränkedose handelt, röntgenanalytische Verfahren sind ein wesentlicher Bestandteil sowohl der Forschung und Entwicklung als auch der Produktionsprozesskontrolle und der Qualitätssicherung. Mit der Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) lassen sich die Dicke und die elementare Zusammensetzung von Metallbeschichtungen bestimmen. Die Röntgenreflektometrie (XRR), die in der Halbleiterfertigung häufig als Messinstrument eingesetzt wird, dient zur Messung der Schichtdicken in einem Mehrschichtstapel von Beschichtungen und kann auch andere Schichteigenschaften wie Rauheit und Diffusion zwischen den Schichten charakterisieren. Die Röntgendiffraktion (XRD) und die damit verbundenen Techniken werden zur Untersuchung der molekularen Struktur von Schichten eingesetztund haben sich zu einem führenden Werkzeug in der Nanotechnologieforschung entwickelt. Die Technologie und Erfahrung von Rigaku bietet eine Vielzahl von zerstörungsfreien analytischen Lösungen für Beschichtungs- und Dünnschichtmessungen.
SmartLab
Fortschrittliches, hochauflösendes High-End-XRD-System, unterstützt durch die Guidance-Expertensoftware.
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SmartLab SE
Hochflexibles Mehrzweck-Röntgendiffraktometer mit integrierter intelligenter Nutzerführung.
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MiniFlex
Neues Röntgendiffraktionssystem der sechsten Generation für allgemeine Anwendungen zur Phasenidentifikation und Phasenquantifizierung.
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ZSX Primus IV
Sequenzielles Hochleistungs-WDRFA-Spektrometer mit Röhre oberhalb der Probe und neuer ZSX Guidance-Expertensoftware.
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ZSX Primus III NEXT
Kostengünstiges High-End-Industrie-WDRFA mit Röhre oberhalb der Probe für die Analyse fester Proben.
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ZSX Primus IVi
Sequenzielles Hochleistungs-WDRFA-Spektrometer mit der Röhre unterhalb der Probe und neuer ZSX Guidance-Expertensoftware.
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Supermini200
Sequenzielles Benchtop-WDRFA-Spektrometer mit Röhre unterhalb der Probe zur Analyse von O bis U in Feststoffen, Flüssigkeiten und Pulvern.
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NEX CG II Series
Hochleistungs-EDRFA mit indirekter Anregung für komplexe Anwendungen mit Spurenelementen und variablen Basismatrizen.
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NEX DE Serie
Hochleistungs-60-kV-EDRFA-Systeme bieten Geschwindigkeit, Präzision und Messungen mit kleinen Spotgrößen.
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NEX QC Serie
Kombiniert Qualität, Erschwinglichkeit und Leistung für ein breites Anwendungsspektrum.
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NEX LS
In-line-Echtzeit-Beschichtungsdickenprofilierung für Bahnen oder Coil-Anwendungen.
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Rigaku Automation Interface
Offene Python-Orchestrierungsschnittstelle für nahtlose Integration und sichere Tests
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