Qualana
Mikro-RFA-Spektrometer für präzise und zuverlässige Daten
Qualana hilft dabei, die bei der Mikroflächenanalyse häufig auftretende Unsicherheit zu verringern. Durch die exakte Ausrichtung auf den gewünschten Messpunkt und die Verknüpfung von Positionsinformationen mit Analyseergebnissen ermöglicht es den Anwendern, auf der Grundlage der erzielten Ergebnisse mit größerer Sicherheit vorzugehen. Qualana reduziert zudem die Notwendigkeit von Wiederholungsmessungen oder zusätzlichen Überprüfungen durch andere Verfahren und unterstützt so eine schnellere Ursachenanalyse.
Qualana Übersicht
Den gewünschten Mikrobereich direkt messen
Bei der Element-Analyse im Mikrobereich kann bereits eine geringfügige Abweichung zwischen dem optischen Beobachtungspunkt und dem Röntgenbestrahlungspunkt das Ergebnis beeinflussen. Das "Vertical3-Axis Targeting" von Qualana ist ein eigens entwickeltes optisches System, das die Kamera mit geringer Vergrößerung, die Kamera mit hoher Vergrößerung und die Röntgenquelle vertikal ausrichtet. In Kombination mit der hochpräzisen Tischsteuerung führt es die Beobachtungsposition exakt zum Röntgenbestrahlungspunkt. Das reduziert Fehleinschätzungen aufgrund von Positionsabweichungen, minimiert Nachjustierungen und hilft, Ursachen schneller zu finden.
Nachvollziehbarer Ablauf für einfachere Erläuterung und Überprüfung
Anstatt die gesamte Probe von Anfang an detailliert zu messen, ermöglicht es Qualana, sich zunächst durch großflächige Kartierung einen Überblick zu verschaffen und anschließend nur die erforderlichen Stellen im Detail zu untersuchen. Das verkürzt die Messzeit und senkt gleichzeitig das Risiko, wichtige Merkmale zu übersehen, sodass der Anwender die für die Entscheidungsfindung erforderlichen Daten erhält. Da der Messablauf nachvollziehbar ist, wird der Aufwand für Erläuterungen und Überprüfungen reduziert.
Qualana Eigenschaften
In Kombination mit der hochpräzisen Tischsteuerung minimiert dies die Abweichung zwischen dem ausgewählten Bereich und dem tatsächlich per Röntgenstrahlung analysierten Bereich.
Die quantitative Analyse mit der Fundamentalparameter-Methode (FP) wird für alle Spotgrößen – 20, 50, 100, 150 und 200 μm – unterstützt und liefert zuverlässige Ergebnisse in vielfältigen Anwendungsbereichen.
Automatische Höhenanpassung und Kollisionsschutzsensoren ermöglichen stabile Messungen auch bei hohen Proben.
Da die Analyse direkt am Beobachtungsort durchgeführt werden kann, ohne die Probe zu beschädigen, unterstützt Qualana eine effiziente Bewertung von Dünnschichten für Forschung, Entwicklung und Fehleranalyse.
Da Mapping-Ergebnisse und die Daten der anschließenden Spotanalyse verknüpft und gemeinsam gespeichert werden, lässt sich später nachvollziehen, welche Ergebnisse zu zusätzlichen Messungen geführt haben und warum. Dies reduziert den Aufwand für die Erläuterung und Überprüfung der Daten.
Qualana Spezifikationen
| Produktname | Qualana | |
|---|---|---|
| Technik | Mikro-RFA | |
| Nutzen | Zusammensetzungs- und Schichtdickenanalyse im Mikrobereich, Element-Mapping-Analyse | |
| Merkmale | Luftgekühlte Mikrofokus-Röntgenröhre, Polykapillare, Siliziumdriftdetektor (SDD) | |
| Optionen | Drucker | |
| Computer | PC, MS Windows OS, Qualana Controller Software, Qualana Analyzer Software | |
| Abmessungen | 1040 (B) x 1315 (H) x 810 (T) mm | |
| Gewicht | 560 kg | |
| Stromversorgung | Gerät: einphasig 200-240 V, 50/60 Hz, 20 A | |
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