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什麼是 X光拓撲成像?

晶體材料缺陷的可視化

X光拓撲成像(X-ray topography)是一種基於布拉格繞射的成像技術。繞射拓撲圖記錄的是晶體繞射 X光束的強度分佈。拓撲圖因此表示反射 X光的二維空間強度映射,即勞厄反射的空間精細結構。這種強度分佈反映了晶體內部散射能力的分佈情況,因此,拓撲圖能夠揭示非理想晶格中的不規則性和缺陷。

X光繞射拓撲成像是 X光成像技術的一種變體,它利用的是繞射對比,而非X光照相和電腦斷層成像(CT)中通常採用的吸收對比。XRT 被廣泛用於晶體品質監測以及多種晶體材料中缺陷的可視化。例如,在新晶體生長方法的開發過程中,可用於監控晶體生長情況及所獲得的晶體品質,並透過反覆優化生長條件來改進結果。在許多情況下,拓撲成像無需對樣品進行製備或造成損傷,因此屬於一種無損檢測技術。

產品 | 應用說明

X-ray Topography

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應用說明

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