什麼是微區繞射？
微小樣品或局部區域的 XRD 分析，包括繞射圖譜映射
對微小樣品或大樣品局部區域進行的 X光繞射（XRD）分析通常稱為微區繞射（microdiffraction）。當樣品尺寸過小，不適合一般繞射儀器的光學和精度要求時，微區繞射被認為是首選技術。該方法採用微區 X光光束，使繞射特性可隨樣品位置進行映射。透過將微束準確、精確地定位在樣品表面，獲得的訊息可繪製成繞射函數圖（Diffraction Function Map, DFM）。
繞射數據包含物相鑑定、晶粒取向（織構）、應力、結晶度及晶粒尺寸等關鍵訊息。隨著材料研究和製造工藝的發展，局域結構對產品產率與可靠性的影響日益顯著，微繞射技術的應用正在快速增長。微區繞射的應用包括：圖案化晶圓上的測試區、由組合化學生成的化合物庫、地質標本中的包裹體分析、金屬或塑膠零件的失效分析，製造過程中的品質控制（QC）。
