X線顕微鏡
X線顕微鏡とは
X線顕微鏡とはX線を使って試料の内部構造までを高倍率で観察できる装置です。光学顕微鏡や電子顕微鏡では難しい、試料内部の非破壊観察ができます。マイクロCTとX線顕微鏡は、いずれもX線を利用したCT装置ですが、それぞれ得意分野が異なります。マイクロCTは、ミクロン領域の分解能で様々なサイズの試料に対応できます。汎用性が高いため、幅広い材料の評価に適しています。一方、X線顕微鏡はサブミクロン領域の分解能で画像を取得できます。試料の大きさに制約はあるものの、微細欠陥の観察や局所構造の評価に力を発揮します。
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