半導体評価測定

XRF、XRD、XRRによる半導体評価

半導体業界では、より低コストで、より高性能の集積回路（IC）が常に求められ続けています。ウェーハ計測機器は、ICを設計・製造において、ウェーハの特性、線幅、潜在的な欠陥レベルを注意深く制御し、製造プロセスを最適化するために使用されます。ウェーハ検査機能を合わせ持った計測機器は、半導体デバイスの製造工程において物理的特性と電気的特性を計測します。ウェーハ計測装置は、試料表面上の粒子やパターン欠陥、その他デバイスの性能に悪影響を及ぼす要素を特定することができます。

リガクは、半導体製造における課題を解決するＸ線測定機器（Ｘ線回析、蛍光Ｘ線回析、Ｘ線反射率）の設計・製造のパイオニアです。リガクはＸ線のリーディングカンパニーとして、30年近く世界の半導体業界を支えて参りました。リガクの幅広い製品群は、製造工程のプロセス制御から、薄膜の研究開発、材料評価までのあらゆる場面で活躍します。