ナノテクノロジー

ナノスケール評価用のXRD、XRR、SAXS

ナノテクノロジーは、生物学、化学、物理学、工学などの幅広い分野にまたがっている非常にユニークな分野です。 半導体デバイスからナノ粒子まで、これらの研究開発には構造内の原子間距離や分子間距離の正確な測定が欠かせません。 Ｘ線の波長はナノ構造のサイズと同じスケールであるため、Ｘ線回折（XRD）および関連技術はナノテクノロジー研究者にとっての主要なツールとなっています。 高分解能Ｘ線回折は、膜厚、ラフネス、化学組成、格子間隔、応力緩和などを測定することができます。 また、Ｘ線反射率測定（XRR）では、膜厚、ラフネス、密度を決定できます。Ｘ線散漫散乱は、非等方的な構造周期性や、歪、密度、空孔の存在による構造揺らぎを調べるために使用されます。 インプレーン回折は、非常に薄い有機膜や無機膜の評価や、深さ方向のプロファイリングを行うことができます。 小角Ｘ線散乱（SAXS）は、固体・溶液中に存在するナノ粒子のサイズ、形状、分布、および配向を決定することができます。 リガクはその技術と専門知識により、ナノテクノロジー用途向けの多数のＸ線製品を提供しています。