シリコン金属負極材の不純物分析

はじめに

負極材として用いられるSi金属は、シリコンウエーハ屑からリサイクルされることが多いため、受け入れ時の不純物管理が必須です。XRFは、非破壊で粉末のままppmオーダーの元素分析が可能です。EDX（エネルギー分散型）では困難なSiマトリクス中の微量Al不純物も、WDX（波長分散型装置）を用いることで精度よく分析できます。

構成分析

• 分析: リサイクル原材料
• 用途: スクリーニング
• 分析材料:  Si金属負極
• 使用機器: Supermini200
• 解析手法: スタンダードレスFP法

Figure 1: WDXとEDXのAlスペクトル比較

Table 1: 電極グレードSi粉末のスタンダードレスFP分析結果

結論

XRF分析の結果、Al、Fe、Caの不純物が検出されました。同試料のEDXスペクトルでは、SiピークのすそにAlピークが重なり、微量の分析は困難となります。WDXのスペクトルでは、重なりのないピークが得られ
るため、微量のAlも分析が可能です。