【お知らせ】リガク、新たな微小部蛍光X線分析装置「Qualana」を発表

～狙った位置に確実に照射、あらゆるサンプルの元素情報を可視化～

リガク・ホールディングスのグループ会社、株式会社リガク（本社：東京都昭島市代表取締役社長：川上潤、以下「リガク」）は、最小20 µmに集光したX線を試料に照射し、発生した蛍光X線を検出することで、局所的な元素情報を得る微小部蛍光X線分析装置「Qualana」を、2025年9月3日より開催されるJASIS 2025 にて発表いたします。小さな部品や素材の組成・膜厚分布といった管理分析、故障品の解析、異物の探索などに力を発揮します。電子デバイスや電池、材料科学、化学、考古学、法科学など、多種多様なアプリケーションでの活躍が期待できます。2026年春の販売開始を予定しています。

Qualana

分析性能と使いやすさを両立

名前の由来である Quality of Analysis が示す通り、高品質な分析を追い求めるユーザーに高い分析性能と良質なデータを提供します。

QualanaはX線レンズと試料観察カメラの両方を試料直上に配置する光学系を採用しており、試料の高さが変わっても画像上で指定した照射位置がズレることはありません。電子基板のような凹凸のある試料に対しても、測定したい場所を精確に分析することができます。

【Qualanaの主な特長】

狙った位置に確実に照射 – 高精度なポイント測定
最小径 20 µmでX線を試料に照射でき、微小領域の元素組成分析が可能です。X線照射とカメラ撮像を真上から行うため、凹凸のある試料でも測定位置ズレの心配はありません。
広いエリアを見落としなく - 大面積マッピング測定
最大 200 mm×200 mmまでの大面積マッピング測定を行えます。照射径を切り替えることで、小領域向けの高精細測定と大領域向けの高速測定を使い分けることができます。大きな試料のマッピング分析時にも確実に全面にX線を照射でき、微小な異物も見落としなく測定が可能です。
あらゆる元素を検出– 超軽元素対応SDD
最新の薄窓型X線検出器を搭載しており、炭素より大きな原子番号の元素を高感度で検出・分析することができます。焼損基板の故障解析などにおいて、炭素や酸素の検出が可能です。
自由度の高い定量 – 薄膜対応のFPプログラム
リガクが長らくWDX・EDX装置で培ってきたFPプログラムを用いて組成・膜厚の定量を行います。多層膜FPでは、幅広い薄膜試料に対して自由度の高いFPモデル設定が行えます。

本製品の発売を機に、これまで築いてきた信頼と実績をさらに積み上げ、新たな市場への挑戦を本格化いたします。

【リガクグループについて】
リガクグループは、X線分析をコアに熱分析等も含む先端的な分析技術で社会をけん引する技術者集団です。産業・研究用分析のソリューションパートナーとして1951年の創業以来、90か国以上でお客様と共に成長を続けています。日本国内で極めて高いシェアを誇り、海外売上は約70%に達しています。応用分野は、半導体や電子材料、電池、環境・エネルギーからライフサイエンスまで日々拡大中です。世界で2,000名超の従業員が「視るチカラで、世界を変える」イノベーションの実現に取り組んでいます。詳しくはrigaku-hol d ings.comをご覧ください。