Was ist Dünnschichten-Analyse?
Messungen von epitaktischen Gitterparametern
Die Röntgendiffraktion ist besonders wertvoll für die Untersuchung von Epitaxie-Schichten und anderen Dünnschichten. Mit Hilfe von Präzisionsmethoden zur Messung von Gitterparametern kann die Gitterfehlanpassung einer epitaktischen Schicht und ihres Substrats mit großer Genauigkeit bestimmt werden. Diese Gitterparameterübereinstimmung bzw. -fehlanpassung ist ein wichtiger Faktor bei epitaktischen Bauelementen wie magnetischen Granat-Filmen für Blasenspeicher, dotierten Galliumarsenidfilmen für LED und Hochgeschwindigkeitstransistoren, Infrarotdetektoren und anderen wichtigen elektronischen Produkten. Ein weiterer interessanter Anwendungsbereich von XRD für Dünnschichten ist die Bestimmung des Wärmeausdehnungskoeffizienten durch Aufzeichnung der Gitterparameter in Abhängigkeit von der Temperatur mit einem Hochtemperaturdiffraktometer.
Hochauflösende Röntgen-Rocking-Kurven werden häufig zur genauen Bestimmung der Zusammensetzung und Dicke von epitaktischen Legierungsschichten verwendet. Das SmartLab-Diffraktometer von Rigaku, das eine Optik mit variabler Auflösung bietet, ist für solche Zwecke ideal. Der modulare Aufbau der SmartLab-Optik ermöglicht es dem Anwender, verschiedene optische Elemente seiner Wahl einzusetzen, z. B. Ge(220)x2, Ge(220)x4, Ge(400)x2 oder Ge(440)x4 Monochromatoren für den einfallenden Strahl und einen Ge(220)x2 Analysator für den gebeugten Strahl. Diese optischen Module können vom Steuerrechner automatisch erkannt und ausgerichtet werden. Ein automatischer variabler Empfangsspalt für den gebeugten Strahl ist ebenfalls verfügbar.
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