Was ist Mikrodiffraktion?

XRD-Analyse von kleinen Proben oder Bereichen, einschließlich Mapping

Die Röntgendiffraktionsanalyse (XRD) an kleinen Proben oder kleinen Bereichen von großen Proben wird allgemein als Mikrodiffraktion bezeichnet. Sie gilt als die Technik der Wahl, wenn die Proben für die Optik und Genauigkeit herkömmlicher Diffraktionsinstrumente zu klein sind. Bei dieser Methode wird ein Mikro-Röntgenstrahl eingesetzt, so dass die Diffraktionseigenschaften als Funktion der Probenposition abgebildet werden können. Mit der Fähigkeit, einen kleinen Röntgenstrahl genau und präzise auf einer Probenoberfläche zu positionieren, können die Informationen als Diffraktionsfunktionskarte (DFM) aufgezeichnet werden.

Diffraktionsdaten können Informationen über die Identifizierung von Verbindungen, Kristallitorientierung (Textur), Spannung, Kristallinität und Kristallitgröße enthalten. Der Bereich der Mikrodiffraktion nimmt in der Materialforschung und -herstellung rasch zu, da sich kleinere Domänen inzwischen auf die Produktausbeute und -zuverlässigkeit auswirken. Zu den Anwendungen für die Mikrodiffraktionsanalyse gehören: Testpads auf strukturierten Wafern, durch kombinatorische Chemie gebildete Verbindungsbibliotheken, Einschlüsse in geologischen Proben, Fehleranalyse von Metall- oder Kunststoffkomponenten und Qualitätskontrolle in der Fertigung.